在西安高新区,一座现代化的洁净车间内,身着白色防护服的技术人员正专注地操作着精密设备。这里,陕西电子芯业时代科技有限公司的8英寸高性能特色工艺半导体生产线已正式投入运行,标志着陕西在高端芯片制造领域迈出了关键一步,为我国功率半导体产业的自主可控发展注入了新动力。
“光刻工艺是整个生产线的核心环节,堪称半导体制造领域的‘明珠’。”该公司光刻部工程师吴一蔚介绍道。他的团队负责将掩膜版上的精密图形精准转移到硅片表面的光刻胶上,为后续刻蚀出微观芯片结构奠定基础。这条生产线总投资45亿元,其中一期投资32亿元,于2024年5月启动建设,9月成功试产,主要聚焦新能源汽车、绿色家电、风光储能等领域的工业级与车规级功率芯片,精准对接产业升级需求。
从建设之初,该生产线就坚持“自主化”原则,主工艺设备国产化率超过60%,辅机辅件国产化率达90%以上,超过80%的设备兼容第三代半导体研发。这一举措为我国突破关键装备依赖、筑牢产业安全屏障提供了有力支撑。目前,项目一期月产能2万片的生产线已全面建成,150余台主工艺设备和400余台辅助设备全部到位,并与8家上市公司或行业头部企业达成合作。
“更令人振奋的是市场反馈。”公司总经理张国伟表示。这条生产线的通线投产不仅填补了陕西集成电路制造的短板,还展现出显著的产业带动效应。截至目前,项目已为陕西引入上下游关联投资超过10亿元,与8家企业建立实质性合作。在产业链上游,与西安交通大学、西安电子科技大学等高校紧密衔接,协同开展前沿技术攻关;在产业链下游,为省内200余家半导体企业完善了制造环节,促进形成“设计—制造—封测—应用”的完整生态,使陕西集成电路产业的“骨骼”更加强健,“血脉”更加畅通。
作为项目承载地,西安高新区同步打造了集成电路创新中心,构建起“四链融合”的高能级生态平台。这里不仅提供空间载体,还依托西安高新金控集团的金融服务与硬科技集团的产业投资优势,着力打通“科技研发—成果转化—企业培育—产业壮大”的全链条。目前,除陕西电子芯业时代科技有限公司外,西安高新区已聚集西北工业大学未来产业科技园、普源精电、华腾微波等一批龙头企业,并围绕集成电路、人工智能等产业构建起“众创空间—孵化器—加速器—产业基地”的完整孵化体系,为企业协同创新、共生共长提供持续动力。
随着这条生产线的正式投产,一颗颗“西安芯”正从这里走向市场,为绿色经济发展和千行百业赋能。陕西电子芯业时代科技有限公司计划未来将月产能提升至5万片,并持续深耕特色工艺,有效缓解高端芯片进口依赖问题,助推陕西集成电路产业加快做强做优做大。










