西安电子科技大学科研团队在芯片散热领域取得重大突破,成功攻克了困扰行业近二十年的技术难题。该成果不仅实现了芯片散热效率的飞跃式提升,更为下一代半导体器件的性能突破奠定了关键基础,相关研究已发表于国际顶级学术期刊《自然·通讯》与《科学·进展》。
半导体器件性能提升的核心矛盾在于:新型材料虽具备更高理论性能,但实际制造过程中往往面临工艺瓶颈。以氮化镓(第三代半导体)和氧化镓(第四代半导体)为代表的新材料体系,其高效集成面临的关键障碍在于材料界面质量。传统工艺采用氮化铝作为中间连接层,但该材料在生长过程中会自发形成不规则的"岛状"结构,导致界面存在大量缺陷,热量无法有效导出,最终引发芯片性能衰减甚至烧毁。这一难题自2014年相关成核技术获诺贝尔奖以来,始终未获根本性解决,成为制约射频芯片功率提升的最大瓶颈。
郝跃院士与张进成教授团队通过创新材料生长工艺,成功破解这一世界级难题。研究团队开发的"离子注入诱导成核"技术,将氮化铝层的生长模式从随机不可控转变为精准可控。通过该工艺,原本粗糙的"多晶岛状"结构被转化为原子级平整的"单晶薄膜",界面缺陷密度大幅降低。实验数据显示,新型结构的界面热阻较传统工艺降低66%,热量导出效率显著提升。这项基础工艺革新同时解决了第三代至第四代半导体的共性散热问题,为器件性能突破扫清了关键障碍。
基于该技术制备的氮化镓微波功率器件展现出惊人性能:在X波段和Ka波段分别实现42 W/mm和20 W/mm的输出功率密度,较国际同类器件提升30%-40%,创下近二十年来该领域的最大突破纪录。这项成果不仅在学术层面具有里程碑意义,更具有显著的应用价值。研究团队指出,虽然当前民用消费电子尚不需要如此高的功率密度,但基础技术的进步将产生普惠效应。未来手机等移动设备在偏远地区的信号接收能力有望增强,电池续航时间也可能延长。更重要的是,该技术为5G/6G通信、卫星互联网等战略新兴产业储备了关键核心器件能力,将推动相关领域实现跨越式发展。











