在半导体行业，设备管理长期面临诸多棘手难题。设备非计划停机导致的Uptime损失、产线良率波动引发的Line yield损失，以及设备工程师高强度工作负荷和人员流动造成知识断层等问题，一直制约着企业的稳定运营与高效发展。如今，中用科技推出的设备智能体凭借创新技术，为半导体设备管理带来了全新变革。
中用科技设备智能体的核心在于序列大模型与知识计算引擎的深度融合，这一技术组合重构了半导体设备管理模式。在提升机台Uptime方面，该智能体以智能自动恢复技术为突破口，对设备运行数据进行全方位、实时采集。通过捕捉关键参数的波动趋势，能够提前发现潜在异常，实现设备健康状态的动态监测与精准预警。同时，依托设备运行大数据和全生命周期寿命模型，主动生成个性化的预防性维护计划，将传统“事后维修”转变为“预测性维护”，从根源上消除设备隐患，杜绝非计划停机，有效提升机台的综合利用率，为产线的稳定运行筑牢根基。
针对Line yield的提升，中用科技设备智能体聚焦于非计划宕机导致的产品报废问题。通过实时监控设备健康状态，精准识别潜在运行风险并提前预警，推动设备管理从“被动响应故障”向“主动预防异常”转变。同时，建立标准化、高效的故障快速闭环处置机制，大幅缩短异常响应和处置周期，降低设备运行波动对产线良率的影响。深度打通设备运行数据与产线良率数据，运用多维度关联分析和根因定位算法，精准锁定影响良率的核心因素，为工艺参数优化、设备性能改善和维护策略迭代提供科学依据，构建全流程闭环管理体系，推动产线良率稳步提升。
在降低工程师负荷方面，中用科技设备智能体展现出显著优势。通过智能聚类整合和多维度时序对齐等技术，精准还原设备异常的完整过程和传导路径。智能体能够自动过滤90%以上的无效告警和干扰信息，避免工程师被告警风暴淹没，使其能够快速定位故障根源，缩短故障排查时间，提高故障响应和处置效率，让工程师从繁杂的工作中解脱出来。
知识沉淀也是中用科技设备智能体的一大亮点。该智能体具备强大的主动学习和自主进化能力，每一次设备异常事件及处置过程都会被系统自动记录、学习和沉淀。它将分散、非结构化的故障案例、人工实操经验与处理流程转化为标准化、可复用、可传承的知识资产。随着持续积累和模型优化，知识体系不断完善，智能决策能力不断提升，能够高效适配更多类型设备和更复杂场景的智能化管理需求，实现从经验依赖到数据驱动、从人工决策到智能自治的升级。
中用科技设备智能体的应用已取得显著成效，可帮助客户降低30%以上的设备全生命周期管理成本，有效延长设备稳定运行周期，全面提升产线的可靠性和运营效益。凭借其创新技术和卓越性能，中用科技设备智能体正为半导体制造行业的智能化转型注入强大动力，推动行业向更高效、更稳定的方向发展。
