安徽省电子学会近日揭晓了2026年度“安徽省电子信息科技奖”获奖名单,中用科技凭借“半导体高端制造先进制程安全管控关键技术与应用”项目斩获科技进步一等奖。这一荣誉不仅是对企业技术实力的权威认可,更彰显了其在半导体先进制造领域的创新引领地位。
半导体制造作为高端制造的核心领域,随着工艺节点向更小尺寸演进,生产系统复杂度呈指数级增长。设备运行稳定性、工艺参数协同性、环境控制精准性以及全流程安全管控等环节均面临严峻挑战。中用科技以产业需求为锚点,将真实生产场景中的痛点转化为技术突破方向,通过十余年持续研发与工程实践,构建起覆盖工业软件到工业AI的技术体系。
企业创新成果源于对产业现场的深度扎根。从晶圆厂无尘车间到设备运维一线,研发团队累计收集超百万组生产数据,形成对设备故障模式、工艺波动规律、环境干扰因素的深度认知。基于此开发的智能管控系统,可实现设备状态实时监测、工艺参数动态优化、安全风险提前预警,将制程异常发生率降低60%以上,显著提升良品率与生产效率。
技术壁垒的构筑离不开知识产权体系的支撑。截至目前,中用科技已累计获得300余项自主知识产权,其中发明专利占比超70%。在标准制定领域,企业主导参与20余项国家标准、40余项行业标准的编制工作,推动安全管控技术从企业实践上升为行业规范。这些技术资产与标准话语权,共同构建起企业难以复制的核心竞争力。
产业化应用是检验技术创新的关键标尺。中用科技产品已进入百余家晶圆制造企业生产线,并覆盖十余家国家级科研实验室,形成从8英寸到12英寸晶圆产线的全谱系解决方案。海外市场上,企业通过与国际半导体设备巨头建立技术合作,将安全管控系统推广至东南亚、欧洲等地区,技术输出带动中国标准走向全球。
面对智能制造转型浪潮,中用科技正加速推进技术迭代。通过将深度学习算法与行业知识图谱深度融合,企业研发出新一代数字孪生平台,可实现生产系统的全要素映射与虚拟调试。在工业安全领域,基于多模态感知的智能防护系统,能对人员操作、设备状态、环境参数进行三维立体监控,将安全风险识别响应时间缩短至毫秒级。
技术创新与产业需求的双向驱动,正在重塑半导体制造生态。中用科技通过构建“技术研发-产品验证-标准制定-产业推广”的完整闭环,不仅解决了先进制程中的安全管控难题,更推动中国半导体产业向智能化、精细化方向迈进。这种以实际应用为导向的创新模式,为高端制造领域的技术突破提供了可复制的范本。











