近日，杭州传来振奋人心的消息，国内首台自主研发的商用电子束光刻机成功问世，这台设备在精度方面达到了国际主流设备的水平，为中国量子芯片的研发领域带来了一把“中国刻刀”。
在浙江大学成果转化基地的测试现场，一台外观类似大型保险柜的机器正在进行紧张的应用测试，电子显示屏上的数据不断跳动，显示着机器的运行状态。
“羲之”电子束光刻机专为量子芯片和新型半导体研发设计，通过高能电子束在硅基上“手写”电路，其精度高达0.6nm，线宽为8nm。更重要的是，该设备无需掩膜版，可以灵活修改设计，非常适合芯片研发初期的反复调试和测试。这一特性使得“羲之”在量子芯片和新型半导体研发领域具有极高的应用价值。
长期以来，由于国际出口管制，国内顶尖科研机构如中国科学技术大学和之江实验室等一直难以采购到此类设备。“羲之”的成功研发并投入市场，有望打破这一困境，为国内科研机构提供强有力的技术支持。
“羲之”的定价低于国际同类产品的均价，这使其在市场竞争中具有明显的优势。目前，已有多家企业和科研机构与研发团队展开接洽，探讨合作事宜。
那么，电子束光刻机与我们常听到的EUV光刻机有何不同呢？电子束光刻机采用电子源，通过电子束轰击电子抗蚀剂，使其发生分子链重组，从而在基底上留下需要的图案信息。这种技术采用逐点扫描的方式，虽然扫描速度慢，但精度极高，如“羲之”电子束光刻机的精度就达到了0.6nm。
相比之下，EUV光刻机则利用极紫外光作为能量源，通过掩模版投影的方式实现图案的全片一次性曝光。这种方式效率更高，但精度相对较低。因此，EUV光刻机主要用于大规模集成电路的制造，如CPU和DRAM等商业化半导体产品的生产。
而电子束光刻机则更适合小批量高精度需求的应用场景，如高端芯片的小批量生产、改进迭代以及掩模版制作等。这使得电子束光刻机在半导体制造领域具有独特的地位和优势。
随着“羲之”电子束光刻机的成功问世和投入市场，中国半导体制造领域将迎来新的发展机遇。这把“中国刻刀”将助力国内科研机构和企业突破技术瓶颈，推动量子芯片和新型半导体技术的快速发展。
