格隆汇3月2日丨和远气体(002971.SZ)公布,宜昌产业园项目占地880亩,分两期建设,规划的主要产品为“电子级三氟化氮、六氟化钨、三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅、硅烷、乙硅烷等电子特气,以及氨基、乙烯基、环氧基、酰氧基、烷基、苯基、硫基等系列硅基功能性新材料”等产品。截至本公告披露日,上述所规划的产品正在分批试生产,预计今年将逐步达到“投产-稳产”的目标。本次扩建的4500吨/年电子级三氟化氮项目,是在宜昌产业园项目建设基础上扩建的项目。
电子级三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,具有良好的蚀刻速率和选择性。本次投资扩建的4500吨/年电子级三氟化氮项目,是公司根据市场行情并结合公司实际情况审慎决策的,投资总预算68,371.00万元,分两期建设,建设期三年,资金来源为控股子公司和远新材料自筹,公司董事会授权和远新材料负责组织项目实施。










