7月18日消息,日本先进半导体制造商Rapidus今日正式宣布启动2nm GAA(注:全环绕栅极)晶体管的试制,并展示了其首块2nm GAA晶圆。这也是最尖端逻辑制程从“三足鼎立”走向“四厂争霸”道路上的关键里程碑。
Rapidus于2023年9月1日举行了其首座晶圆厂IIM-1的奠基仪式、2024年12月完成了洁净室准备,2025年4月1日实现了初始图案的曝光与显影,到2025年6月完成了由200多个制造单元构成的生产线。
▲ IIM-1
Rapidus正在开发与其2nm工艺兼容的PDK,计划2026年一季度结束前向客户交付。该企业2027年实现2nm量产的计划没有改变。