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中微公司推出多款全新自主研发高端微观加工设备

时间：2026-09-01 18:50:19 来源：格隆汇编辑：快讯 IP：北京 发表评论无障碍通道

格隆汇9月1日｜中微公司在CSEAC2026期间宣布推出多款全新自主研发的高端微观加工设备，覆盖极高深宽比刻蚀、等离子体增强化学气相沉积、原子层沉积、金属薄膜沉积及碳化硅外延等关键领域。

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