在集成电路制造领域，精度要求已达到“纳米级摩天大楼”的建造水准，数以亿计的微小元器件被集成于芯片之上，对检测设备的准确性提出了严苛挑战。作为校验这些高精度设备的关键工具，标准物质的重要性愈发凸显。近日，上海在标准物质研发领域取得重大突破，三项晶圆级标准物质通过国家二级认证，为国产芯片检测提供了更精准的“标尺”。
集成电路制造是信息产业的核心，其精度直接决定了芯片性能。随着技术迭代，检测设备需在纳米尺度上实现无误差操作，而传统标准物质因尺寸限制，难以满足自动化检测需求。此次获批的三项标准物质，包括八英寸晶圆级100纳米一维光栅、200纳米二维栅格及100纳米凹陷缺陷标准物质，专为集成电路典型结构与缺陷设计，可覆盖特征尺寸测量、角度校准及缺陷检测等关键环节。
以扫描电子显微镜（CD-SEM）为例，其测量精度直接影响芯片良率。新标准物质通过提供可靠的量值基准，有效解决了检测设备“测不准、测不精、测不全”的产业痛点，助力国内企业突破技术瓶颈。据研发团队介绍，这些标准物质可帮助量检测设备企业与晶圆制造厂提升计量测试能力，完善产业技术体系，为高端装备自主可控奠定基础。
上海在标准物质领域的突破，得益于审批制度的改革创新。2023年，上海率先获得国家二级标准物质定级鉴定审批权，并在浦东新区、奉贤区开展试点。2025年7月，改革成果获国家市场监管总局认可，审批权下放至省级部门，并推广至内蒙古、湖南、四川部分地区。新规实施后，上海已颁发41张国家二级标准物质证书，覆盖56项标准物质，涉及集成电路、生物制造、生命健康等先导产业。
其中，灭活基孔肯雅病毒标准物质为中国首个针对该病毒的二级标准，为疫情防控提供技术支撑；赭曲霉毒素纯度标准物质填补国内空白，推动真菌毒素检测国产化；紫外可见全波长检定溶液标准物质则广泛应用于制药、医疗、环保等领域。中国仓鼠卵巢细胞基因组DNA标准物质通过提升DNA残留量检测准确度，助力生物制品质量升级，破解国际贸易技术壁垒。
标准物质的研发与产业化，不仅解决了关键领域的“卡脖子”问题，还吸引了上下游企业参与创新链。例如，某生物科技公司基于新标准物质开发的检测试剂盒，已实现真菌毒素快速筛查，市场占有率显著提升。另一家半导体企业则通过引入晶圆级标准物质，将检测设备校准周期缩短30%，生产成本降低15%。
业内专家指出，标准物质是计量体系的“基石”，其国产化进程直接关系到产业安全。上海通过制度创新与科研攻关双轮驱动，已形成从研发到审批的完整闭环，为全国标准物质产业高质量发展提供了可复制的经验。随着改革深入，更多高精度标准物质有望涌现，为中国制造向中国智造转型提供有力保障。
