近日,雄安新区迎来一项重大科技突破——全球首个纳米级微振动实验室正式投入运营。该实验室由国投集团旗下中国电子工程设计院股份有限公司主导建设,标志着我国在高端制造领域的关键技术取得重要进展,为自主创新发展注入新动能。
实验室的核心设备是一台完全自主研发的微振动模拟实验台。其台面尺寸达4米×4米,设计承载能力高达20吨,振动精度突破纳米级限制。这一技术指标使其能够满足大型半导体设备整机、卫星全尺寸载荷等高精密测试需求,填补了国内相关领域的空白。
在高精密制造产业中,振动控制技术是保障产品质量的关键环节。以半导体生产为例,设备精密程度和工艺流程复杂性对环境振动极为敏感,任何微小扰动都可能影响产品良率。该实验室的投运,为解决这一难题提供了重要技术支撑。
据项目负责人介绍,实验室建设过程中攻克了多项技术难题,包括超低频振动隔离、高精度位移测量等。通过自主创新,团队成功将振动控制精度提升至纳米级,达到国际领先水平。这一成果将直接服务于我国高端装备制造业的发展需求。
国投集团表示,将以此次实验室投运为契机,进一步发挥国有资本投资公司的平台作用。依托中国电子院在先进电子制造和微振动控制领域的技术积累,推动更多科技创新成果在雄安新区转化落地,助力当地培育新质生产力,形成高质量发展新优势。









