在集成电路领域,一项具有开创性的研究成果引发全球关注。复旦大学彭慧胜教授与陈培宁研究员团队成功研制出全球首款“纤维芯片”,相关成果发表于国际顶级学术期刊《自然》主刊。这一成果突破了传统集成电路的局限,为柔性电子系统的发展开辟了全新道路。
传统集成电路以平整的硅晶圆为衬底,而纤维材料具有曲面结构且表面积有限,同时其采用的弹性高分子难以承受光刻工艺中的极性溶剂。在拉伸、弯曲、扭转等复杂形变下维持电路稳定性,也是长期困扰柔性电子系统集成化发展的难题。针对这些挑战,复旦团队创新性地提出“多层旋叠架构”,摒弃了仅利用纤维表面的传统思路,转而在纤维内部构建螺旋式堆叠的多层电路,充分挖掘其内部空间潜力,实现了晶体管、电阻、电容等元件的高密度互连。
为攻克技术瓶颈,团队历经近五年努力。首先,采用等离子刻蚀技术将高分子表面粗糙度降至1纳米以下,满足了光刻精度要求;其次,在基底上沉积致密聚对二甲苯膜层,有效抵御了溶剂侵蚀;最后,通过“硬 - 软模量异质结构”设计,显著缓解了形变引起的应变集中,确保电路在动态使用中稳定运行。目前,“纤维芯片”的晶体管集成密度已达10万个/厘米,光刻精度达到实验室级设备上限。
实测结果显示,“纤维芯片”性能卓越。它可承受1毫米半径弯曲、20%拉伸形变,即便反复水洗甚至被卡车碾压,性能也无明显衰减。在功能方面,它不仅能执行基础数字与模拟运算,还可集成有机电化学晶体管以支持神经形态计算。按照当前1微米工艺推算,1毫米长的纤维可集成约1万个晶体管,信息处理能力与部分医用植入芯片相当;若延伸至1米长度,晶体管数量有望突破百万级,接近经典CPU水平。
“纤维芯片”的应用前景十分广阔。在脑机接口领域,其超细直径(可小于50微米)和类脑组织柔性的特性,使其能够构建“传感—处理—刺激”一体化闭环系统,有望提升神经信号采集信噪比和实时干预能力。在电子织物领域,芯片可直接编织入衣物,实现无需外接处理器的动态显示、健康监测甚至视频播放功能。在虚拟现实与远程医疗领域,基于该芯片的智能触觉手套可高精度模拟物体力学反馈,适用于手术组织硬度感知等精细操作。
值得一提的是,该制备工艺与现有半导体光刻产线兼容,已初步验证规模化制造的可行性。目前,复旦大学团队正积极推进自主知识产权布局,并寻求与上下游产业合作,加速技术转化。这一成果不仅拓展了集成电路的物理形态边界,也为柔性电子、可穿戴系统及人机融合技术带来了全新的集成范式。











