全球半导体设备领域迎来重要进展——苏州新施诺半导体设备有限公司携第五代自动物料搬运系统（AMHS）亮相第十三届半导体设备与核心部件及材料展（CSEAC）。作为国内唯一实现单厂超200台天车规模化应用的本土企业，新施诺通过自主研发的智能搬运系统，为12英寸晶圆厂提供了高效、稳定的物料运输解决方案。
在新施诺苏州总部工厂，数十台天车沿轨道精准穿梭，完成从晶圆吊装到设备检修的全流程物料搬运。这套覆盖搬运、存储、通信等环节的AMHS系统，已贯穿半导体生产的前、中、后道工序，成为12英寸晶圆厂的标配设备。总经理王宏玉指出，随着晶圆尺寸从8英寸升级至12英寸，传统人工搬运在效率、洁净度和良品率控制上的局限性日益凸显，而AMHS系统可实现24小时无尘环境作业，大幅降低人工搬运引发的晶圆破损风险。
技术突破方面，第五代系统将搬运重复精度控制在1毫米以内，载具振动峰值不超过0.5G，关键取放环节采用多重防护机制。天车运行速度提升至每秒5.3米，跨区域传输周期缩短至3分钟内，单厂调度能力突破1000台。这些指标使系统在保障安全稳定的同时，运营成本较进口设备降低约30%。目前，新施诺已在国内多家头部晶圆厂完成超20公里轨道的实际应用，并建立模拟测试环境验证大规模调度能力。
系统稳定性是AMHS的核心竞争力。据介绍，软件算法作为"智能大脑"，可实时优化天车路径，避免运输拥堵。一旦系统故障，可能导致整厂停工，因此新施诺通过冗余设计和故障预测功能，将系统可用率提升至99.99%。王宏玉透露，除半导体领域外，面板制造和新能源电池行业也已开始引入全套AMHS方案，推动产业向智能化、集约化转型。
目前，新施诺正通过国内外联合研发和供应链整合，持续升级系统解决方案。其第五代产品的规模化应用，标志着国产AMHS设备在技术指标和产业化能力上实现重要突破，为半导体设备自主可控提供了关键支撑。
