近日，天眼查APP数据平台披露，中微公司（股票代码：688012）成功斩获一项发明专利授权，该专利名为“一种接地环及其调节方法及等离子体处理装置”，其申请号为CN202011547788.X，授权日期为2025年9月9日。
据专利摘要介绍，此项发明创新性地提出了一种接地环及其调节方法，并应用于等离子体处理装置中。该接地环巧妙地设计了连接体结构，通过灵活调整连接体的数量、更换不同宽度的连接体，或是调节连接体可分离连接端部与环体之间的间隙宽度，实现了对射频分布的优化，从而有效保障了刻蚀速率的均匀性。
今年以来，中微公司在专利授权方面取得了显著成绩，新获得专利授权数量达到118个，与去年同期相比增长了28.26%。这一成绩的取得，离不开公司在研发领域的持续投入。根据中微公司2025年中报财务数据显示，今年上半年，公司在研发方面的投入高达11.16亿元，同比增长96.65%，展现了公司对技术创新的坚定决心和强大实力。
除了在专利领域的突出表现，中微半导体设备（上海）股份有限公司在商业运营方面也颇为活跃。天眼查大数据分析显示，该公司共对外投资了29家企业，积极参与各类招投标项目，累计参与次数达67次。在知识产权保护方面，公司同样不遗余力，拥有商标信息98条，专利信息1539条，著作权信息13条。公司还依法获得了76个行政许可，为企业的稳健发展提供了有力保障。
