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佳能纳米压印光刻技术:能否助力日本半导体设备市场复苏?

   时间:2025-08-26 22:23:41 来源:ITBEAR编辑:快讯团队 IP:北京 发表评论无障碍通道
 

在半导体制造设备市场,日本制造商的整体份额近年来持续下降,而佳能公司却在这一领域展现出独特的活力。根据最新市场数据分析,尽管日本制造商在多个前端工艺设备市场上的份额普遍下滑,佳能凭借其纳米压印光刻(NIL)技术,正在悄然改变光学光刻工艺的游戏规则。

2022年,半导体行业经历了一波新冠疫情带来的热潮,但这一势头在2023年戛然而止,迎来了市场的衰退期。许多前端工艺设备,如干蚀刻设备、检测设备和CVD设备的出货额均有所下降。然而,到了2024年,市场开始复苏,大多数设备的出货额逐渐回升。在这一背景下,检查设备和清洗设备的出货情况尤为引人注目(见图1)。

首先,欧美日厂商主导了各前道工艺设备市场,但中国厂商的崛起不容忽视。北方华创和中微电子在干法刻蚀设备领域的份额显著提升,北方华创在PVD设备领域也取得了显著进展。其次,市场规模超过百亿美元的设备类型,如光刻设备、干刻设备、视觉检测设备和CVD设备,几乎全部被欧美厂商占据。然而,日本在涂布显影设备、垂直扩散炉等热处理设备、单晶圆清洗设备、批量清洗设备以及掩模检测设备等领域仍占据主要份额,尽管这些设备的市场规模相对较小。

值得注意的是,日本在前端设备市场的整体份额持续下降。图3显示了截至2024年所有前端设备的地区市场份额趋势。自2011年以来,日本的市场份额急剧下滑,到2023年已被欧洲超越,跌至第三位,且差距在2024年进一步扩大。截至2024年,按地区划分的市场份额分别为美国44.3%、欧洲29.2%、日本21.7%、中国3.4%、韩国1.4%。中国市场的实际份额可能更高,这将对日本形成更大的竞争压力。

深入分析发现,日本市场份额的下降并非由某一特定设备类别导致,而是几乎所有前端制程设备市场份额的普遍下滑。然而,在这一不利局面中,佳能公司凭借其在光刻设备领域的出色表现脱颖而出。特别是在i-line光刻设备市场,佳能占据了74.6%的市场份额,远超竞争对手ASML和尼康。

佳能的成功部分归功于其专注于KrF和i-line光刻设备的战略选择。这些设备虽然不如EUV和ArF浸没式光刻设备先进,但在半导体制造中仍有着广泛的应用。佳能还在积极研发纳米压印光刻技术(NIL),该技术有望以更低的成本和更简单的方式实现精细图案的形成。虽然NIL技术面临掩模版与光刻胶紧密贴合的挑战,但其低成本和潜在的高效率使其成为光刻技术未来发展的重要方向之一。

随着半导体行业的不断发展和技术的持续进步,佳能等公司在光刻设备领域的创新努力将对整个市场格局产生深远影响。特别是NIL技术的潜在突破,可能会为半导体制造带来革命性的变化,进一步推动行业的技术进步和成本降低。

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