在半导体设备领域,中微公司凭借其高端半导体设备和泛半导体设备业务,已成为行业备受瞩目的企业之一。该公司业务范围广泛,涵盖集成电路制造、封装设备、MEMS设备等多个领域,尤其在刻蚀设备和薄膜设备等半导体前道核心设备方面展现出强大的技术实力。这些设备的技术门槛极高,而中微公司通过持续创新,逐步确立了行业领先地位。
中微公司成立于2004年,虽然运营时间不长,但发展速度令人瞩目。2007年,公司成功研发出首台CCP刻蚀设备,这一突破成为其技术进步的重要转折点。此后,公司每隔一段时间便推出新设备:2011年推出45纳米介质刻蚀设备,2013年推出22纳米介质刻蚀设备,2015年实现等离子体刻蚀机量产,2016年推出ICP刻蚀设备产品,2017年进入7纳米生产线。凭借这些技术成果,中微公司于2019年成为科创板首批上市公司之一。
中微公司的核心产品包括刻蚀设备、薄膜设备和MOCVD设备。其中,刻蚀设备已覆盖国内95%以上的刻蚀应用需求,并在5纳米及更先进制程领域实现规模量产。公司自主研发的ICP双台机刻蚀精度高达每分钟0.02纳米,CCP双台机已有超过600个反应台在国际先进逻辑产线上量产。薄膜设备方面,LPCVD和ALD薄膜设备近两年研发成功,市场认可度持续提升,LPCVD薄膜设备累计出货量已突破100个反应台。
半导体设备行业存在两条发展路径:一是覆盖全产业链的“多而广”模式,二是聚焦核心领域的“少而精”模式。北方华创选择了前者,甚至布局光刻领域;中微公司则专注于后者,将部分技术研发推向极致。公司董事长尹志尧曾表示:“与美国打官司,我们从未输过。”这一底气源于公司强大的自主研发能力。尽管半导体领域专利侵权现象普遍,但中微公司历年诉讼均以胜诉或和解告终,充分证明了其技术实力。
高端技术领域,专利数量与研发投入密不可分。中微公司在研发方面毫不吝啬,费用逐年增长。今年上半年研发费用已达11亿元,接近去年全年水平;去年研发投入24.5亿元,占总营收的27%;今年上半年研发投入15亿元,且仍在增加。高研发投入使公司新设备研发周期缩短至2年以内,在高端设备领域形成显著优势。
当前,国内芯片制造环节仍被国外企业主导,检测设备国产率不足5%,国产替代空间巨大。中微公司将检测设备列为重点研发项目之一,旨在突破这一瓶颈。从公司发展轨迹来看,其技术实力和市场拓展能力均具备较强竞争力,未来业绩增长动力充足。
过去五年,中微公司营收呈现快速增长态势:2020年营收不足23亿元,去年已达90亿元,今年有望突破百亿元。近十年来,公司年均营收增速超过35%,在行业中表现优异。按照规划,中微公司目标在2030年跻身全球半导体设备企业第一梯队,与国际巨头比肩。