近期,随着光刻机概念在资本市场备受关注,工业气体板块也呈现出活跃态势。9月19日,凯美特气股价涨停,广钢气体、和远气体、金宏气体、雅克科技、杭氧股份等企业股价均出现不同程度的上涨。
工业特种气体被誉为中国工业的“血液”,其中一家中国企业在该领域掌握了核心技术,成为产业链上的佼佼者,它就是华特气体。华特气体生产的光刻气在国内市场占有率高达六成,是中国唯一、全球仅四家获得光刻机巨头ASML和GIGAPHOTON认证的企业。
目前,华特气体已成功进入长江存储、中芯国际、华虹宏力、合肥长鑫等几乎所有国内头部芯片企业的供应链,实现了对8寸以上集成电路制造厂商超过90%的覆盖率。不仅如此,该公司还参与了英特尔、德州仪器、台积电、三星、英飞凌等十多个国际巨头的产业链,与国际同行展开了激烈竞争。
华特气体能有今天的成就,与其董事长石平湘密不可分。1976年,时任佛山市二氧化碳研究所经理的石平湘,在与上级派来的巡视员参观工厂时,目睹了令人震惊的一幕:厂房内一片寂静,突然传来一声巨响,一名工人愤怒地咆哮道:“这个价格太离谱了,5N纯度的气体,1公斤居然要卖90美金!”电子特气的纯度用N表示,例如99.999%就是5N,N的数量越多,纯度越高。当时,缺“气”是许多工厂面临的难题,主要依赖进口,不仅价格高昂,而且购买过程艰难。90美金相当于一名工程师几个月的工资,一位专家当场气愤地说:“中国的化工人难道只能吃素吗?”
这一场景深深触动了石平湘,他意识到中国要发展,必须实现技术领先。中国企业不能只满足于现状,而要追求更高的目标。45岁时,他带头创立了广东华南特种气体研究所。经过一段时间的努力,团队成功研发出首个气体产品——氩加二氧化碳。从此,石平湘踏上了“争气”之路。
进入21世纪,电子特气领域依然被“卡脖子”,而它在价值链中的地位仅次于晶圆。例如,光刻气的纯度直接影响芯片的性能、良率和成本。从28nm、14nm到7nm、5nm,制程越先进,对纯度的要求就越高。
石平湘决定再次发力,向电子特气领域进军,投入大量人力和物力进行自主研发。需要注意的是,特气种类繁多,且具有小批量、高频次的供货特点。而电子特气一旦出现质量问题,不仅会影响同批产品,甚至可能导致整条晶圆生产线报废,因此客户对供应商的选择极为谨慎,轻易不会更换。
面对巨大的压力,石平湘带领团队成功研发出自己的电子特种气体,实现了50多个产品的国产替代,能够为14nm、7nm产线供料,部分产品甚至用于5nm工艺。华特气体的产品还广泛应用于生物医疗、光伏新材等领域。
事实上,特种气体虽然用途广泛,但市场规模一直不大,到2025年预计不到500亿,且利润率不高,许多企业不愿投入精力研发。但石平湘认为,利润虽薄,却关乎中国工业的“血液”是否掌握在自己手中。30多年来,华特气体获得了近百项授权专利,参与制定了多项国家标准,产品出口到超过50个国家和地区。
即使已经实现了当初的目标,石平湘仍未停下脚步,他继续向乙硅烷、锗烷等高价值特气产品发起研发量产的挑战。